半導体製造を支えるサブファブ・生産支援設備は、自動化やリアルタイムの監視によるコスト節約・効率化の大きな余地があります。
装置効率化・予知保全・製造品質向上を実現する、スクラバー向けの高度な監視ソリューションをご紹介します。
薬品を安全・確実にプロセス機器へ供給。
真空ポンプの稼働効率を向上させるifmの状態監視向けハードウェア・ソフトウェア製品をご紹介します。
水質維持・稼働率向上・生産効率化を実現する半導体超純水装置向けのifmの高度センサ技術をご紹介します。
高純度のシリコン結晶を加工したウェハから、半導体デバイス製品に使われる高品質な半導体が製造されます。製品品質を向上させる状態監視・プロセス制御をご紹介します。
半導体品質を左右するのは、精密な工程制御です。リアルタイムの状態監視によりアップタイムと製品品質の向上が実現します。
半導体製造に必要な高い品質・安全性要求を満たすifmのソリューションとセンサ技術をご紹介します。
