- 半導体
- ウェハ製造加工
ウェハ製造
高純度のシリコン結晶を加工したウェハから、半導体デバイス製品に使われる高品質な半導体が製造されます。インゴットの大型化に伴い、シリコン結晶成長工程ではさまざまな課題が生じます。工程の重要装置を監視してプロセス制御を安定させることにより、製品品質が向上します。
計画外ダウンタイムの削減
製造の重要装置をリアルタイムで監視して計画外停止を最小限に抑え、重大な故障を防ぎます。
廃棄率の低減
さまざまな製造ポイントでウェハ品質を常時監視することにより、生産データに基づいた工程の最適化が実現します。
製品品質の向上
精密制御により装置の状態や健全性を把握して、最大能力で稼働して製品品質を向上させます。
