半導体製造を支えるサブファブ・生産支援設備は、自動化やリアルタイムの監視によるコスト節約・効率化の大きな余地があります。
ifmのウェハ製造ソリューションが、資源の有効利用をサポートし、品質・安全性の高い生産効率化を実現します。
半導体製造に必要な高い品質・安全性要求を満たすifmのソリューションとセンサ技術をご紹介します。