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Smarte Halbleiterfertigung: die Fabrik der Zukunft gestalten

Nahaufnahme eines hell erleuchteten, sauberen Raumes in einem modernen Halbleiterwerk

Die Halbleiterindustrie entwickelt und wächst weiter. Mithilfe von Innovationen lässt sich die steigende Nachfrage nach Chips decken, ohne die Qualität oder Sicherheit zu beeinträchtigen.
 

Vorteile der smarten Fertigung

Qualität und Ertrag
verbessern
Nachhaltigkeitsziele
erreichen
Maschinenverfügbarkeit verbessern

Smarte Fertigungslösungen bieten neue Datenquellen, die die Genauigkeit von Predictive-Maintenance-Modellen erhöht. Das führt zu einer verbesserten Wafer-Qualität und erhöht die Maschinenverfügbarkeit. Umweltverträglichkeit ist wichtig, damit die gesamte Halbleiterindustrie weiter wachsen kann. Durch die Implementierung von Wasser- und Energieüberwachung können Ineffizienzen identifiziert und Fertigungsprozesse optimiert werden. Industrie 4.0-Initiativen steigern die Effizienz und Nachhaltigkeit in der Fabrik der Zukunft.

Smarte Fertigungslösungen, um jeden Produktionsschritt zu optimieren

ifm ist Ihr Partner zur Verbesserung der OEE und des Energieverbrauchs

Qualitätskontrolle und Optimierung des Ertrags

Überwachung der Wafer-Fertigung

Das gleichmäßige Wachstum und Schneiden der Ingots ist bei der Prozessierung von Wafern essenziell. Das Wafer-Polieren ist die Grundlage hochwertiger nachgelagerter Produkte. Die Überwachung der Anlagen in diesem Abschnitt des Wafer-Fertigungsprozesses hilft:

  • Lagerverschleiß zu erkennen
  • Spindelausfälle zu identifizieren
  • Crashs zu erfassen

Die zustandsorientierte Überwachung stellt in diesem Schritt gleichmäßige Polierarbeiten sicher und senkt das Risiko, dass leichte Schwingungsveränderungen unbemerkt bleiben und schlussendlich zu nachgelagerten Produktfehlern führen.

CMP-Lösung ➜

Erreichung der Nachhaltigkeitsziele

Optimierung von Energie- und Ressourcennutzung

Bei der Wasserrückgewinnung (präzise Überwachung der Wasserqualität) und der Reduzierung der Gasemissionen (Überwachung des Druckluftverbrauchs) handelt es sich um wichtige Maßnahmen zum Schutz der Umwelt.

Mit der RTM-Lösung von ifm kann der Kunde

  • alle Einzelverbräuche transparent im Blick behalten und dank der Calculated-Values-Funktion gleichzeitig zu einem Gesamtergebnis zusammenführen.
  • Abweichungen vom Idealzustand individuell für jeden Verbraucher identifizieren und so gezielte Wartungs- oder Optimierungsmaßnahmen einleiten.

Die Investition in die IoT-Lösung war damit auch eine Investition in eine effizientere Ressourcennutzung, die in nachhaltiger Kostensenkung resultiert.

Lösung für Aufbereitungsanlagen für Reinstwasser ➜

Erhöhung der Maschinenverfügbarkeit

Versorgungsüberwachung im Sub-Fab

Schlussendlich ist die Fertigung von Chips abhängig von der Durchgängigkeit und Verlässlichkeit der Anlagen im Sub-Fab. Mithilfe der präzisen Überwachung können Hersteller Trends in ihren Daten erkennen und Muster identifizieren, die auf Veränderungen in der Maschinenleistung hindeuten. Die Schwingungsüberwachung hilft bei:

  • der Überwachung kritischer Maschinen
  • der Durchführung einer Ursachenanalyse
  • der Prognose optimaler Instandsetzungs- und Wartungsintervalle

Vakuumpumpen-Lösung ➜

Die smarte Füllstandüberwachung hilft dabei

  • ungeplante Stillstände zu vermeiden
  • eine automatische Wiederauffüllung auszulösen
  • Warnungen bei niedrigem Bestand für Nachbestellungen auszugeben

Mit smarten Füllstandsensoren können automatische Wiederauffüllungen und Benachrichtigungen für Nachbestellungen ausgelöst werden. Diese Daten können für eine optimierte Supply-Chain-Prognose und -Planung an ERP-Systeme gesendet werden.

CDS-Lösung ➜


It's not automation until it's orange.

Smarte Sensorik und digitale Konzepte für die Fertigungsprozesse von morgen. Gestalten Sie Ihre Automatisierung mit den Lösungen von ifm.

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