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陶瓷電容式測量元件

陶瓷電容式測量元件由一個基礎本體、兩個電容器層、一個玻璃焊料與一片薄膜組成。
在基礎本體與薄膜上的電容器層與平板電容器類似,形成測量與參考電容器。當施加壓力時,薄膜與基礎本體間的距離改變,這會改變電極間的電容量。電容量的改變將接受評估,接著被處理為工業常見的訊號。

特色:

  • 壓力範圍從 100 mbar 至600 bar,真空至-1bar
  • 相當強固耐用,可承受高壓力定額與破壞試驗壓力
  • 操作無飄移,大於億次壓力循環
  • 長期穩定性與高度可重複性
  • 免填充介質的測量元件

優點:

  • 陶瓷無懼老化或磨損(長期穩定性)
  • 抗動態壓力峰值和空蝕現象
  • 陶瓷測量元件受溫度影響小
  • 高度耐化學性
  • 過壓情況下,相對電極(基礎本體)會支撐膜片

缺點:

  • 必須彈性膠密封 - 氣體壓力運用只能低於25 bar
  • 感測器內的測量元件安裝結構複雜,因此外殼偏大且成本較高

不鏽鋼應變計測量元件

在這些測量元件中,電阻器形式的應變計(strain gauge)連接到不銹鋼膜的背面,並作為惠斯同電橋(Wheatstone bridge)連接。這可以作為厚層或薄膜應用。一旦對測量元件施壓,膜就會變形。這會依比例改變電橋迴路的輸出訊號,依次由電子設備測量並轉換為工業上常見的輸出訊號。

特色:

  • 壓力範圍從6 bar 至 600 bar
  • 適合氣體最高達600 bar
  • 長期穩定性

優點:

  • 尺寸小,扳手尺寸為 19 或 22 mm
  • 無須密封安裝,測量元件焊接至製程連接
  • 高爆破壓力抵抗
  • 適合大量

缺點:

  • 相較於陶瓷電容式測量元件較低的抗超載
    ⇒強烈建議在有動態壓力和氣蝕現象的應用中使用阻尼配件

壓阻測量元件

這些測量元件可用於壓阻效應(piezoresistive effect)。這指的是因為壓力或張力造成材料的電阻發生改變。電阻的改變以電橋迴路紀錄下,並轉換成工業上常見的輸出訊號。壓阻矽測量元件是直接安裝在電路板上. 電路板和元件帶塗層具有耐性, 通用在各種介質(污染的空氣、油、水、冷卻潤滑劑等)。

特色:

  • 適合用於氣壓感測器
  • 可以測量壓力差

優點:

  • 價格親民
  • 小型感測器元件

缺點:

  • 若無其他配件,則無法耐侵蝕性介質