技術總覽 - 壓力感測器

陶瓷電容式測量元件由一個基礎本體、兩個電容器層、一個玻璃焊料與一片薄膜組成。
在基礎本體與薄膜上的電容器層與平板電容器類似，形成測量與參考電容器。當施加壓力時，薄膜與基礎本體間的距離改變，這會改變電極間的電容量。電容量的改變將接受評估，接著被處理為工業常見的訊號。

特色：

• 壓力範圍從 100 mbar 至600 bar，真空至-1bar
• 相當強固耐用，可承受高壓力定額與破壞試驗壓力
• 操作無飄移，大於億次壓力循環
• 長期穩定性與高度可重複性
• 免填充介質的測量元件

優點：

• 陶瓷無懼老化或磨損（長期穩定性）
• 抗動態壓力峰值和空蝕現象
• 陶瓷測量元件受溫度影響小
• 高度耐化學性
• 過壓情況下，相對電極（基礎本體）會支撐膜片

缺點：

• 必須彈性膠密封 - 氣體壓力運用只能低於25 bar
• 感測器內的測量元件安裝結構複雜，因此外殼偏大且成本較高

在這些測量元件中，電阻器形式的應變計（strain gauge）連接到不銹鋼膜的背面，並作為惠斯同電橋（Wheatstone bridge）連接。這可以作為厚層或薄膜應用。一旦對測量元件施壓，膜就會變形。這會依比例改變電橋迴路的輸出訊號，依次由電子設備測量並轉換為工業上常見的輸出訊號。

特色：

• 壓力範圍從6 bar 至 600 bar
• 適合氣體最高達600 bar
• 長期穩定性

優點：

• 尺寸小，扳手尺寸為 19 或 22 mm
• 無須密封安裝，測量元件焊接至製程連接
• 高爆破壓力抵抗
• 適合大量

缺點：

• 相較於陶瓷電容式測量元件較低的抗超載
  ⇒強烈建議在有動態壓力和氣蝕現象的應用中使用阻尼配件

這些測量元件可用於壓阻效應（piezoresistive effect）。這指的是因為壓力或張力造成材料的電阻發生改變。電阻的改變以電橋迴路紀錄下，並轉換成工業上常見的輸出訊號。壓阻矽測量元件是直接安裝在電路板上. 電路板和元件帶塗層具有耐性, 通用在各種介質（污染的空氣、油、水、冷卻潤滑劑等）。

特色：

• 適合用於氣壓感測器
• 可以測量壓力差

優點：

• 價格親民
• 小型感測器元件

缺點：

• 若無其他配件，則無法耐侵蝕性介質