分析センサの校正
ISO校正証明書（導電率）
導電率センサの校正は、国家標準等の規格団体が定める追跡可能な標準液を使って、比較測定を行います。
校正には、既知の導電率値の緩衝液と標準液が使われます。
校正測定では、校正対象の被試験デバイスを標準液に浸し、実測値と目標値を比較して誤差を記録します。導電率は温度の影響を大きく受けるため、基準温度も測定して記録します。
校正は、測定範囲をスケーリングしアナログ出力（電流）とデジタル出力（IO-Link）で3点を測定します。校正後、被試験デバイスは工場出荷時の設定に戻します（再校正時のCGAセル定数を除く）。
パーティクルモニタ ISO校正証明書
パーティクルモニタの校正は、二次校正液を使用して実施されます。
パーティクルモニタの校正は、校正用懸濁液を使用する一次校正と二次校正を行います。
一次校正は、油圧用自動粒子計測器の校正方法を規定したISO11171規格に従って行われます。この方法ではNIST標準物質2806Bのトレーサビリティのある校正懸濁液を使用します。懸濁物質の粒径は、電子顕微鏡で測定します。これにより、参照物質ダストの粒径分布と準拠した懸濁液を使用していることが保証されます。所定の油圧回路で、標準器を遡及可能な方法で校正します。
ifmのパーティクルモニタの校正は、ISO11943に従って行われます。二次校正は、一次校正用懸濁液を使って校正した機器を参照して行います。この方法では、精製鉱物油に規定量の試験ダストを再び混合して調製します。二次校正用懸濁液は、一次校正済の標準センサを使って分析した後で、被試験パーティクルモニタで比較校正を行います。
校正は、4つの測定チャネルで実施し、二次校正用懸濁液が4、6、14、21µmの各粒子径と同じ粒径分布であることを確認します。