테크놀러지 개요 - 압력 센서

세라믹-정전용량형 측정 셀은 기본 본체, 콘덴서 층 2개, 유리 솔더 및 멤브레인으로 구성됩니다.
기본 본체 및 멤브레인에 있는 콘덴서 층은 플레이트 콘덴서와 유사하며, 측정 및 기준 콘덴서를 형성합니다. 압력이 가해지면 멤브레인과 기본 본체 사이의 거리가 변하며, 이로 인하여 전극 간의 정전용량이 변경됩니다. 이러한 정전용량 변화를 평가한 후, 산업계에서 일반적인 신호로 처리합니다.

특징:

• 압력 범위는 100 mbar 에서 600 bar 까지이며, 진공은 -1 bar임
• 높은 압력 등급과 파열 압력으로 매우 견고함
• 1억번 이상의 압력 주기에도 드리프트 없는 작동
• 높은 장기간 안정성 및 반복성
• 매체로 채우지 않는 건식 측정 셀

장점:

• 세라믹이 노화되거나 피로하지 않음 (장기 안정성)
• 동적 압력 피크 및 캐비테이션에 대한 내구성
• 세라믹 측정 셀에 미치는 온도 영향 최소화
• 화학성분에 대한 높은 내구성
• 압력 초과시, 상대 전극 (베이스)에 의한 다이어프램 지원

단점:

• 엘라스토머 (Elastomer) 씰링이 요구됨, 25 bar 미만의 가스에만 해당
• 센서에 측정 셀을 구조적으로 복잡하게 설치하므로 하우징이 크고 비용이 많이 듬

이 측정 셀에서 저항기 형태의 변형 게이지는 스텐레스 멤브레인 뒷면에 부착되고 휘트스톤(Wheatstone) 브리지에 연결됩니다. 박막 또는 후막 (thick layer or a thin film)으로 구현될 수 있습니다. 측정 셀에 압력이 가해지면, 멤브레인이 변형됩니다. 이는 차례로 전자 장치에 의해 측정되고 산업계에서 일반적인 출력 신호로 변환되는 브리지 회로의 출력 신호를 비례적으로 변경합니다.

특징:

• 6 bar 에서 600 bar 까지의 압력 레인지
• 최대 600 bar 가스에 적합함
• 높은 장기간 안정성

장점:

• 작은 크기, 렌치 크기 19 또는 22 mm
• 씰이 없는 설치, 측정 셀이 프로세스 연결부에 용접됨
• 높은 파열 압력
• 많은 양에 적합

단점:

• 세라믹-정전용량형 측정 셀 보다 과부하 저항력이 낮음
  ⇒ 동적 압력 및 캐비테이션이 있는 어플리케이션에 강하게 권장되는 댐핑 요소

이러한 측정 셀은 피에조저항 방식 효과를 사용합니다. 압력 또는 장력으로 인한 재질의 전기적 저항의 변화를 나타냅니다. 이러한 변화는 브리지 회로를 통해 기록되며, 산업계에서 일반적으로 사용되는 출력 신호로 변환됩니다. 피에조저항 방식 실리콘 측정 셀은 일반적인 매체-저항 (오염된 공기, 오일, 물, 냉각 윤활제 등)을 제공하는 코팅된 프린트 회로 기판에 부착됩니다.

특징:

• 공압 센서에 적합함
• 차압 측정 가능

장점:

• 매력적인 가격
• 소형 센서 구성요소

단점:

• 추가 조치가 없으면 자극성 매체에 대한 저항력이 없음