テクノロジ概要 - 圧力センサ

セラミック静電容量式測定セルは、ベースボディ、2つのコンデンサ層、ガラスはんだ、メンブレンで構成されます。
ベースボディのコンデンサ層とメンブレンは、プレートコンデンサと同様で、測定および基準コンデンサを形成します。圧力がかかると、メンブレンとベースボディの間の距離が変化し、これによって電極間のキャパシタンスが変化します。このキャパシタンスの変化が評価され、業界で一般的な信号に処理されます。

特徴：

• 10 kPa～60 Mpaの圧力範囲、真空～-0.1 Mpa
• 高い圧力定格とバースト圧力で非常に堅牢
• 1億回以上の圧力サイクルでドリフトのない動作
• 高い長期的安定性と繰返し精度
• 充填媒体のないドライ測定セル

メリット：

• セラミックは老化も疲労もありません（長期安定性）
• 動的圧力ピークとキャビテーションに対する耐性
• セラミック測定セルへの温度の影響は最小限
• 高い耐薬品性
• 対電極（ベース）が過剰圧力の場合にダイヤフラムを支持

デメリット：

• エラストマシールが必要 – 2.5 Mpa未満のガスの場合
• センサへの測定セルの取付けが構造的に複雑なため、大型の外装が必要でコストも高い

この測定セルでは、抵抗の形のストレインゲージがステンレス製メンブレンの背後に取付けられ、ホイートストンブリッジに接続されています。これは薄膜の厚い層として実装できます。測定セルに圧力がかかるとメンブレンの形状が変化します。これに比例してブリッジ回路の出力信号が変化し、電子機器によって測定され業界で一般的な出力信号に変換されます。

特徴：

• 0.6 Mpa～60 Mpaの圧力範囲
• 60 Mpaまでのガスに最適
• 高い長期安定性

メリット：

• 小型、レンチサイズ19または22 mm
• シールなしの取付け、測定セルは接続部に溶接
• 高いバースト圧力
• 量が多い場合に有利

デメリット：

• セラミック静電容量式測定セルよりも過負荷耐性が低い
  ⇒ 動的圧力およびキャビテーションのあるアプリケーションではダンピングエレメントを強く推奨

この測定セルはピエゾ抵抗効果を利用しています。圧力または張力による材質の電気抵抗の変化を示します。この抵抗の変化がブリッジ回路で記録され、業界で一般的な出力信号に変換されます。ピエゾ抵抗シリコン測定セルは、プリント基板に接着され、汎用の媒体耐性用にコーティングされています（汚染空気、オイル、水、冷却潤滑剤など）。

特徴：

• 空気圧センサに最適
• 差圧測定が可能

メリット：

• 魅力的な価格
• 小型センサ部

デメリット：

• 追加作業なしでは劇性のある媒体への耐性なし